淘客熙熙

主题:【原创】雪夜妖谈-引子 -- 夜如何其

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SSMB应该不是SR+FEL

而是达到了SR+FEL的效果。

从网上的资料看,SSMB是基于储存环而不是加速器的,这是个很新的领域。而EUV-FEL提出的比较早,甚至基于X光的光刻技术已经有几十年的历史了,只是一直没用在半导体工业的量产上。

而去年俄罗斯也开始了基于X光的半导体光刻技术的研究。



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